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USC(超声波干式清洗机)

设备类型 USC(超声波干式清洗机)
对应能力 2.5G-8.5G
设备名称 干式USC(机台+Head移动型) 设备名称 干式USC(滚轮移动清扫型) 设备名称 干式USC(机台+机台移动型)
功能概述 该设备适用于TFT-LCD行业,实现对Glass固体Particle的干式清洗,适用于2.5G - 8.5G产线。
设备为在线式设备,Glass通过上游设备传入到本设备后,经过整形、传输通过USC清洗头,完成Glass清洗。
设备结构简单稳定,清洗效果好,并可定制清洗模式,实现单次清洗、往返清洗及多次清洗。
设备概述和特点

主要用于LCD&AM-OLED各工艺段 Glass Particle的清洗消除

机台承载、Head移动清扫
采用新型进口USC Head
清扫效率可达3μm,≥98%
可根据清扫需求采用不同的Head
适用于Dry Etch等工艺制程 

设备概述和特点

主要用于LCD&AM-OLED各工艺段 Glass Particle的清洗消除 

Head固定,滚轮承载移动清扫
采用新型进口USC Head
可根据需求设计为单面或双面清扫
清扫效率可达3μm,≥98%
可根据清扫需求采用不同的Head
适用于Inline产线

设备概述和特点

主要用于LCD&AM-OLED各工艺段 Glass Particle的清洗消除

Head固定,机台承载移动清扫
采用新型进口USC Head
清扫效率可达3μm,≥98%
可根据清扫需求采用不同的Head
适用于玻璃变形度要求较高的产线

设备图片 设备图片 设备图片