USC(超声波干式清洗机)

设备类型	USC(超声波干式清洗机)
对应能力	2.5G-8.5G
设备名称	干式USC(机台+Head移动型)	设备名称	干式USC(滚轮移动清扫型)	设备名称	干式USC(机台+机台移动型)
功能概述	该设备适用于TFT-LCD行业，实现对Glass固体Particle的干式清洗，适用于2.5G - 8.5G产线。设备为在线式设备，Glass通过上游设备传入到本设备后，经过整形、传输通过USC清洗头，完成Glass清洗。设备结构简单稳定，清洗效果好，并可定制清洗模式，实现单次清洗、往返清洗及多次清洗。
设备概述和特点	主要用于LCD&AM-OLED各工艺段 Glass Particle的清洗消除机台承载、Head移动清扫采用新型进口USC Head 清扫效率可达3μm，≥98% 可根据清扫需求采用不同的Head 适用于Dry Etch等工艺制程	设备概述和特点	主要用于LCD&AM-OLED各工艺段 Glass Particle的清洗消除 Head固定，滚轮承载移动清扫采用新型进口USC Head 可根据需求设计为单面或双面清扫清扫效率可达3μm，≥98% 可根据清扫需求采用不同的Head 适用于Inline产线	设备概述和特点	主要用于LCD&AM-OLED各工艺段 Glass Particle的清洗消除 Head固定，机台承载移动清扫采用新型进口USC Head 清扫效率可达3μm，≥98% 可根据清扫需求采用不同的Head 适用于玻璃变形度要求较高的产线
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